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多晶硅铸锭炉,提纯炉

  该装备主要用于多晶硅定向凝固(多晶硅铸锭)实验及制造,也可以用于其他半导体材料提纯。同时可适用于高纯铝提纯用。

  该装备可实现熔炼过程在线进行多种物料加料工艺,并可进行物料烧结时骤冷实验。

主要技术参数
  熔炼容量:5-30KG
  电源功率:50-100KW
  升温速率:40℃/Min
  炉温均匀性:±5℃
  极限真空度:6.67×10-3Pa

 
地址:株洲市荷塘区钻石路  电话:+86 0731-28306000  传真:+86 0731-28306306  咨询手机:15007330920    E-mail:zzslkj@sina.com    邮编: 412000