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真空实验炉,多晶硅实验炉,高温实验炉
 
 
1、适用范围和用途
 主要用于各种金属、多晶硅铸锭,非金属材料在高温或超高温状态下的烧结实验熔炼实验
2、主要功能
2.1 能够进行2800℃以下真空或气氛状态下烧结和熔炼。
2.2 温度控制可调,并可在某一温度段保持恒温状态。
3、主机主要配置及技术要求
3.1 工作温度:1600℃~2200℃±10℃,最高温度:2800℃。
3.2 温度均匀性:≤±20℃(2200℃)。
3.3 极限真空度:根据工艺要求确定。
真空机组采用高真空机组,由罗茨泵和旋片泵组成.并附带真空测量装置和手动真空阀。最高真空度可达1*10-3Pa。
3.5 压升率:6Pa/h。
3.6 工作区尺寸:Φ100mm~Φ600mm×H450mm(根据用户要求确定)。
 
 
 
 
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